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   HMDS預處理真空烘箱

   產品用途:該產品主要用于半導體行業，HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

   一、產品規格：

   型號：BD/HMDS-6090內形尺寸：450×450×450

   型號：BD/HMDS-6210內形尺寸：560×640×600

   二、技術參數：

   1、控溫范圍：RT+10～250℃

   2、溫度分辨率：0.1℃

   3、溫度波動度：±1℃

   4、達到真空度：小于133Pa

   5、真空度：100Pa～100000Pa

   6、定時范圍：1～9999min

   7、工作室材料：316L

   8、樣品架：2塊、3塊

   9、真空泵：4L/S

   10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

   11、總功率：3000W、4500W

   三、產品特點：

   1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內膽、樣品機、連接管路均采用優質不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防dan雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

   2、箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

   3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

   四、HMDS預處理系統操作流程：

   1、首先確定烘箱工作溫度；

   2、預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真牢度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;

   3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應;

   4、當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。

   五、控制系統：

   1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；

   2、富士微電腦雙數顯溫度PID控制器，控溫精que可靠；

   六、保護系統：

   1、漏電保護；

   2、超溫保護；

   3、缺液保護；

   七、設備使用條件：

   1、環境溫度：5℃～＋28℃（24小時內平均溫度≤28℃）

   2、環境濕度：≤85%R.H

   3、操作環境需要室內通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;

   八、HMDS預處理真空烘箱服務承諾：

   保修十二個月，免費送貨上門,在對該設備安裝調試結束后,在用戶現場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數不限

   北京中科博達儀器有限公司產品系列:高溫試驗箱、低溫試驗箱、恒溫恒濕試驗箱、低溫恒溫試驗箱、高低溫試驗箱、交變高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、交變高低溫濕熱試驗箱、鹽霧腐蝕試驗箱、二氧化硫試驗箱、鼓風干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗箱、紫外光老化試驗箱、氙弧燈耐氣候試驗箱、臭氧老化試驗箱、換氣老化試驗箱、沙塵試驗箱、淋雨試驗箱、擺管淋雨試驗設備、滴水試驗設備、振動臺、振動試驗機、二氧化碳培養箱、霉菌培養箱、熱空氣消毒箱、低溫培養箱、藥品穩定試驗箱、防銹油脂試驗箱、大型鹽霧試驗室、大型低溫恒溫試驗室、大型高低溫檢測試驗室。